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装置周辺部品
Pfeiffer / Balzers
Both TPH(ISO Flange) & TPU (Conflat Flange) Offered
 Turbo Pumps
 ・TPH-040  ・TPH/U-060
 ・TMH/U-062  ・TMH/U-064
 ・TPH-110  ・TPU-180H
 ・TPU-240C  ・TMH/U-260
 ・TMH-261  ・TPH/U-510
 ・TMU-521P  ・TPH-1600
 ・TMH-1600PC  ・TPH-2101PC
 ・TPH/U-050  ・TPH/U-062
 ・TPH/U 064  ・TMH/U-065
 ・TPH/U-170  ・TPH-240
 ・TPH-260  ・TMH-260C
 ・TPH/U-330  ・TMH-520
 ・TMU-1001P  ・TPH-1600C
 ・TMH-1601
 Controllers
 ・TCP-015  ・TCP-120
 ・TCP-300  ・TCP-310
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Ebara
 Turbo Pumps
 ・ET-300WS  ・ET-600WS
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 Controllers
 ・305W  ・804W-A
Varians
 Turbo Pumps
 ・V-60  ・V-70 D
 ・V-80  ・V-250
 ・V-300 HT  ・V-450
 ・V-551 Navigator  ・V-1000 ICE
 ・V-70  ・V-70 LP
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 ・V-1000 HT
Controllers
 ・V-60  ・V-80
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Simadzu
Turbo Pumps
 ・TMP-2003
Osaka Turbo Pumps.
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Alcatel
 Turbo Pumps
 ・ATP-150  ・5400
 ・5402CIS  ・ATH-1600M
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 ・ATH-400M  ・ATH-2300M
 Controllers
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Leybold
 Turbo Pumps
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 Controllers
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Seiko Seiki
 Turbo Pumps
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 Controllers
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Edwards
 Turbo Pumps
 ・EXT-70  ・EXT-250C
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 Controllers
 ・EXC-100E  ・EXC-300
 ・EXC-120
Cryo Pumps
 ・Varian Cryostak 8
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・rebuilt
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  Compressors, rebuilt
 ・CTI-8F OB CF and
  ASA Flanges
 ・CTI-8 Straight, VPB or Diode
 ・CTI-10 & 10F  ・CTI-10 On Board Type
 ・CTI-100  ・CTI 8500
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 ・CTI SC Compressor
ターボポンプ修理について下記以外の機種についてはお問合せください。

・クリーンルーム用品

太陽電池

インプレックス株式会社 / IMPREX Inc.
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  ・中央営業所       ・高真空機器事業部(HVSD)
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