| 修理、オーバーホール |
| ■RF電源 / DC電源 / マッチングボックス RF Generator / DC Power Supply / Matching Box |
| ■ターボ分子ポンプ / クライオポンプオーバーホール Turbo Molecular Pumps / Cryo Pumps Overhaul |
| ■チラー Chiller |
| ■基板修理 Repair for PCB |
| ■ドライポンプオーバーホール Dry Pumps Overhaul |
| ■モーター、モータードライバー修理 Motor / Motor Driver Repair |
| 再生 |
| ■サセプター Susceptor |
| ■ヒーターブロック Heater Block |
| ■再コーティング Recoating |
| ■ヒーター再生 Heater Refurbish |
| ■ESC再生 ESC Refurbish |
| ■ディフューザー再生 Diffuser Refurbish |
| 洗浄 |
| 各種対応させていただきますのでお問合せください。 |
インプレックス株式会社 / IMPREX Inc.
〒889-1701 宮崎県宮崎市田野町甲6030-2 TEL :0985-86-3933
FAX :0985-86-3934
6030-2 Tano-cho Miyazaki-shi Miyazaki 889-1701 Japan TEL :+81-985-86-3933 FAX :+81-985-86-3934
・中央営業所 ・高真空機器事業部(HVSD)
・Chuuou Branch ・High Vacuum System Div.