SEMICON Japan 2008 | |
■主 催 | :SEMIジャパン |
■会 期 | :2008年12月3日(水)〜2008年12月5日(金) |
■展示会場 | :幕張メッセ |
〒261-0023 千葉県美浜区中瀬2-1 | |
■小間番号 | :3A-204 |
■出展予定品目 | ・PMサービス(O/H、移設、改造) ・CVDヒーター再生/新品 ・各種フィルター ・アノダイズコーティング(Face Plate, Diffuser, Susceptor) ・搬送ロボット修理/ O/H /エクスチェンジ ・RF電源修理/DC電源修理/マイクロウェーブ電源修理/基板修理 ・ターボポンプオーバーホール / ドライポンプオーバーホール ・ESC再生 ・ベローズ/ベローズ再生 ・中古装置販売 ・レチクルケース/マスクボックス/シッピングボックス ・タッチパネル改造 P-5000/C-one・two/TCPシリーズ ・静電気対策商品/クリーン用品/クリーン紙/粘着マット ・パーフロO-RING ・ヒーター管 ・石英/セラミック/シリコン ・真空ピンセット ・サセプター再生/P-チャック再生 ・ウェハー移載器、ソーター ・ディスポーザルカップ |
インプレックス株式会社 / IMPREX Inc.
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・中央営業所 ・高真空機器事業部(HVSD)
・Chuuou Branch ・High Vacuum System Div.